最新國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GB/T 11446.1-1997
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 11446.1-1997電子級(jí)超純水(Electronic grade water )代替GB 11446.1–89
1.范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級(jí)超純水的級(jí)別、要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則.
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子元器件生產(chǎn)和清洗用水.
2.引用標(biāo)準(zhǔn)
下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文,通過(guò)在本標(biāo)準(zhǔn)中引用麗構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文.本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí),所示版本均為有效.所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂,使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性.
GB/T 11446.3—1997 電子級(jí)水測(cè)試方法通則
GB/T 11446.4—l997 電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法
GB/T 11446.5—1997 電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法
GB/T 11446.6—1997 電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測(cè)試方法
GB/T 11446.7—1997 電子級(jí)水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測(cè)試方法
GB/T 11446.8—1997 電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法
GB/T 11446.9—1997 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法
GB/T 11446.10—1997 電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方
3.定義
本標(biāo)準(zhǔn)采用下列定義:
3.1電子級(jí)水electronic grade water
制造電子元器件工藝過(guò)程中所用的高純水.
3.2電阻率resistivity
在規(guī)定溫度下1 cm2水溶液兩相對(duì)面之間測(cè)得的電阻值.通常用符號(hào)P表示,單位為Ω﹒cm,純水的理論電阻率為18.3 MΩ﹒cm (25℃).
3.3全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量.
3.4可溶性硅soluble silicon
以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽.
3.5微粒性物質(zhì)granular matter
除氣體以外,以非液態(tài)分散在水中,并形成非均相混合物的物質(zhì).
3.6總有機(jī)碳(TOC) total organic carbon
水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量.包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。
3.7吸附absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的能力。
3.8凝聚coagulation
在源水中加入某種電解質(zhì)后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和,從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進(jìn)行,可除去水中更細(xì)的微粒。
3.10砂濾器sand filter
用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。
3.11 活性碳過(guò)濾器activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過(guò)濾器,用于除去水中的可溶性有機(jī)物和過(guò)量的殘余氯。
3.12離子交換ion exchange
一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過(guò)程,該過(guò)程中物質(zhì)并無(wú)實(shí)質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化.
3.13去離子水deionized water
經(jīng)過(guò)離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水。
3. 14再生regeneration
離子交換過(guò)程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中,用一定量的化學(xué)試劑通過(guò)離子交換樹脂使其恢復(fù)交換能力。
3.15復(fù)合床complex bed
將陽(yáng)離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中,將兩柱串聯(lián),使水依次通過(guò)兩個(gè)柱而被純化,復(fù)合床處理水的純度雖不及混合床,但操作較簡(jiǎn)單。
3.16混合床mixed bed
將陽(yáng)離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當(dāng)于許多組合床串聯(lián)使用,出水質(zhì)量好但再生比較麻煩.
3.17電滲析electrodialysia
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽(yáng)兩極之間用交替排列的陰、陽(yáng)離子交換膜分隔成一系列小室,水流通過(guò)小室時(shí),在直流電場(chǎng)作用下,水中陽(yáng)離子向陰極方向移動(dòng),但不能通過(guò)陽(yáng)膜;陰離子則相反.這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達(dá)到提純水的目的。
3.18反滲透reverse osmosis
亦稱逆向滲透。一種利用滲透原理進(jìn)行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開,并在濃水上施加比滲透壓更強(qiáng)的機(jī)械壓力,則濃水中大部分水透過(guò)半透膜而雜質(zhì)仍留在其中,達(dá)到分離提純的目的.
3.19反滲透膜reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0. 02 μm或更小,可用于除去無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物、細(xì)菌等,使水純化。
3. 20微孔膜濾器membrane filter
一種平均孔徑(直徑)大于0. Olμm的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。
3.21超過(guò)濾uhrafihration
一種過(guò)濾方法,在一定壓力下使水流通過(guò)超濾膜以除去水中的極細(xì)微粒、膠體和細(xì)菌等.
3.22終端terminal
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過(guò)各道凈化工藝后,水的出口或使用地點(diǎn)。
4 分類
4.1電子級(jí)水分為四個(gè)級(jí)別;I級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)和Ⅳ級(jí)。
4.2標(biāo)記
I級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為:EW-I;
II級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為;EW-Ⅱ;
III級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為;EW-Ⅲ;
Ⅳ級(jí)電子級(jí)水標(biāo)記為.EW-Ⅳ。
5 要求
電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的規(guī)定。
表1 電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)
級(jí)別指標(biāo) | EW-I | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
電阻率MΩ﹒cm(25℃) | 18以上(95N時(shí)間)不低于17 | 15(95N時(shí)間)不低于13 | 12.0 | 0.5 |
全硅,最大值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
>1μm微粒數(shù),最大值,個(gè)/mL | 0.01 | 5 | 10 | 500 |
細(xì)菌個(gè)數(shù),最大值,個(gè)/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
銅最大值,μg /L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
鋅,最大值,ug/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
鎳,最大值.μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
鈉.最大值,μg /L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
鉀,最大值.ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯,最大值.ug/L | l | l | 10 | 1000 |
硝酸根,最大值,ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根,最大值.ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
硫酸根,最大值 ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
總有機(jī)碳,最大值,ug/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
6試驗(yàn)方法
6.1電阻率
電子級(jí)水的電阻率按GB/T 11446.4–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定.
6.2全硅含量(以二氧化硅計(jì))
電子級(jí)水全硅(以二氧化硅計(jì))含量按GB/T 11446.6–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。
6.3微粒數(shù)
電子級(jí)水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定.
6.4細(xì)菌總數(shù)
電子級(jí)水中細(xì)菌總數(shù)按GB/T 11446.10–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。
6.5痕量金屬含量
電子級(jí)水中痕量金屬的含量按GB/T 11446. 5–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。
6.6氯離子,硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級(jí)水中氯離子、硫酸根離子、硝酸根離子、磷酸根離子等陰離子的含量按GB/T 11446.7–
1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定.
6.7總有機(jī)碳含量
電子級(jí)水中總機(jī)碳含量按GB/T 11446.8–1997的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)定。
7 檢驗(yàn)規(guī)則
7.1檢驗(yàn)部門
電子級(jí)水的檢驗(yàn)均應(yīng)在制造廠的水質(zhì)檢驗(yàn)部門進(jìn)行.
7.2檢驗(yàn)分類
電子級(jí)水的檢驗(yàn)分為交收檢驗(yàn)和例行檢驗(yàn).
7.3交收檢驗(yàn)(抽驗(yàn)項(xiàng)目)
7.3.1電子級(jí)水技術(shù)指標(biāo)中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計(jì))為交收檢驗(yàn)項(xiàng)目。
7.3.2在用水終端采樣試驗(yàn)后檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)不合格時(shí),應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn),如仍有一項(xiàng)指標(biāo)不
合格,應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。
7.4例行檢驗(yàn)(全檢項(xiàng)目)
例行檢驗(yàn)每年進(jìn)行一次,當(dāng)制水條件發(fā)生變更時(shí)也應(yīng)進(jìn)行例行檢驗(yàn)。
7.4.1檢驗(yàn)項(xiàng)目為表1規(guī)定的全部技術(shù)指標(biāo)要求.
7.4.2在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗(yàn),檢驗(yàn)結(jié)果如有一項(xiàng)以上不合格時(shí),應(yīng)再次采樣進(jìn)行檢驗(yàn),如仍有一項(xiàng)以上指標(biāo)不合格,應(yīng)提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格.
8采樣、貯存、運(yùn)輸及標(biāo)志
8.1 電子級(jí)水的采樣、貯存運(yùn)輸按GB/T 11446. 3–1997的規(guī)定.
8.2標(biāo)志;在用水終端采樣進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí),水質(zhì)合格后應(yīng)附有檢驗(yàn)合格證,合格證應(yīng)注明;
a) 名稱及級(jí)別;
b) 各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo);
c) 制水單位;
d) 供水日期;
e) 檢驗(yàn)員簽章及檢驗(yàn)日期.